تولید لایه‌های نازک حسگرهای گازی با فناوری پلاسما

محققان واحد علوم و تحقیقات دانشگاه آزاد اسلامی با استفاده از تکنولوژی پلاسما موفق به تولید لایه‌های نازک برای کاربرد در سنسورهای گازی شدند.



به گزارش سرویس علمی ایسنا؛ محمدتقی حسین نژاد، مجری طرح، اکسید روی (ZnO) را یکی از معروف‌ترین و پرکاربردترین مواد اکسیدی رسانای شفاف توصیف کرد و گفت: امروزه این فلز در صنعت کاربردهای فراوانی پیدا کرده است که از جمله آن می‌توان به استفاده در سلول‌های خورشیدی، LED ها، فتودیودها و حسگرهای گازی اشاره کرد.

وی از اجرای پروژه تحقیقاتی در این زمینه خبر داد و اظهار کرد: هدف این تحقیقات، رشد لایه‌های نازک اکسید روی با استفاده از تکنولوژی پلاسما، بررسی خواص ساختاری و مورفولوژی سطح نمونه‌ها و بررسی میزان حساسیت نمونه‌های رشد یافته به گاز اتانول به منظور تحلیل خواص حسگری گاز و استفاده در کاربردهای سنسوری بوده است.

حسین نژاد خاطرنشان کرد: در این تحقیقات توانستیم لایه‌های نازک را برای استفاده در سنسورهای گازی با استفاده از تکنولوژی پلاسما تولید کنیم.

منبع :